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| 材料 | 堆積技術 | 密度g/cm3 | Sp3％ | 硬度GPa | 摩擦係数 |
| ダイヤモンド | ナチュラル | 3.52 | 100 | 100 | 0.02〜0.10 |
| 交流 | スパッタリング | 1.9〜2.4 | 25 | 11〜24 | 0.10〜0.15 |
| a-C：H：M | 反応性スパッタリング | 1.9〜2.4 |
| 10〜20 | 0.10〜0.20 |
| a-C：H | RFスパッタリング | 1.57〜1.70 |
| 16〜40 | 0.02〜0.47 |
| a-C、a-C：H | イオンビーム | 1.8〜3.5 |
| 32〜75 | 0.06〜0.19 |
| ta-C | マグネットフィルター | 2.8〜3.0 | 85〜95 | 40〜80 | 0.04〜0.14 |
| Ta-C | PLD | 2.4 | 85〜95 | 40〜80 | 0.03〜0.15 |
| ナミダイヤモンド | PLD | 2.9〜3.5 | 75 | 80〜100 |
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