モデル | HY-1214 | HY-1416 | HY-1618 | HY-2020 |
チャンバーサイズ | Ø1200*1400mm | Ø1400*1600mm | Ø1600*1800mm | Ø2000*2000mm |
チャンバー構造 | 縦型シングルドア、横型シングルドア、縦型ダブルドア | |||
コーティング方法 | バイアス技術を備えたイオン | |||
究極の真空 | 8.0 * 10-4Pa(空の負荷) | |||
真空時間 | 大気から5.0E-2への空の負荷は15分未満 | |||
消費材料 | チタン、クロム、ジルコニウム、鉄、チタンおよびアルミニウム合金、すべてのタイプのMFおよびDCスパッタリングターゲット。 | |||
コーティングカラー | 半透明、ゴールド、シルバー、ローズゴールド、ブラック、ダークブラック、グリーン、ブルー、パープル、レインボー、TiN、ZrN、TiAlN、TiC、TiCN、CrN、Al2O3など | |||
制御方法 | フルオート、セミオート、手動、PLCタッチスクリーン | |||
特別な要件 | カスタマイズされた |