モデル | HY-1214 | HY-1416 | HY-1618 |
チャンバーサイズ | Ø1200*1400mm | Ø1400*1600mm | Ø1600*1800mm |
チャンバー構造 | 縦型シングルドア | ||
コーティング方法 | バイアス技術によるイオン、およびスパッタリング | ||
究極の真空 | 8.0 * 10-4Pa(空の負荷) | ||
真空時間 | 大気から5.0E-2への空の負荷は15分未満 | ||
消費材料 | チタン、クロム、ジルコニウム、鉄、チタンおよびアルミニウム合金、すべてのタイプのMFおよびDCスパッタリングターゲット。 | ||
コーティングカラー | 半透明、ゴールド、シルバー、ローズゴールド、ブラック、ダークブラック、グリーン、ブルー、パープル、レインボー、TiN、ZrN、TiAlN、TiC、TiCN、CrN、Al2O3など | ||
制御方法 | フルオート、セミオート、手動、PLCタッチスクリーン | ||
特別な要件 | カスタマイズされた |