モデル | HY-2225 | HY-2030 | HY-2240 | HY-2245 |
チャンバーサイズ | Ø2200*2500mm | Ø2000*3000mm | Ø2200*4000mm | Ø2200*4500mm |
チャンバー構造 | 縦型シングルドア、横型シングルドア、縦型トップドア | |||
コーティング方法 | バイアス技術を備えたイオン | |||
究極の真空 | 8.0 * 10-4Pa(空の負荷) | |||
真空時間 | 大気から5.0E-2への空の負荷は15分未満 | |||
消費材料 | チタン、クロム、ジルコニウム、鉄、チタン、アルミニウム合金 | |||
コーティングカラー | 半透明、ゴールド、シルバー、ローズゴールド、ブラック、グリーン、ブルー、パープル、レインボー、TiN、ZrN、TiAlN、TiC、TiCN、CrN、Al2O3など | |||
制御方法 | フルオート、セミオート、手動、PLCタッチスクリーン | |||
特別な要件 | カスタマイズされた |