モデル | HY-1319 | HY-1819 |
チャンバーサイズ | Ø1300*1950mm | Ø1800*1950mm |
チャンバー構造 | 縦型シングルドア、縦型両開きドア | |
コーティング方法 | 抵抗加熱 | |
究極の真空 | 8.0 * 10-4Pa(空の負荷) | |
真空時間 | 大気から5.0E-2までの空の負荷は6分未満 | |
消費材料 | タングステン線、アルミ線、シリコン等 | |
コーティングカラー | シルバー(アルミニウムシリコン保護) | |
制御方法 | フルオート、セミオート、手動、PLCタッチスクリーン | |
特別な要件 | カスタマイズされた |