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現在、世界のほとんどの機械的に機能する硬質フィルム（特に切削工具に使用されるフィルム）は、陰極アーク堆積技術を使用しています。アプリケーションのパフォーマンス。特に国産の陰極アーク堆積装置の粒子問題は特に深刻である。この技術をベースにした磁気ろ過技術の導入により、表面に粒子が堆積する問題を解決できますが、堆積効率は元の約1/10であり、堆積面積が小さいため、製造サイクルは長い間、製造コストが高く、マスコーティングには適していません。本番アプリケーション。マグネトロンスパッタリング技術により作製された膜の表面は滑らかで繊細であり、堆積速度は適度であり、膜は広い領域に均一に堆積することができます。しかしながら、マグネトロンスパッタリング技術はまた、イオン化率が低く（一般に１０％）、調製されたフィルムは、硬度、耐摩耗性、および結合力の点で、陰極アーク技術によって調製されたフィルムほど良くない。化学反応性コーティングが行われます。 （TiN、TiO2など）金属粒子のイオン化率が低く、反応性が低いため、反応性ガスを過剰に導入する必要があり、マグネトロンターゲット表面の被毒（化学反応）を引き起こし、鋭いなどの一連のなだれを引き起こします蒸発速度の低下。その結果、マグネトロンスパッタリング反応性コーティングは不安定で制御不能です。
したがって、 多機能イオン真空コーティング機 市場に出ています。多数の実験と産業用途を通じて、プロジェクトは次の結論に達しました。
（1）複数のコーティング技術を備えた設計された多機能イオンコーティング機は成功しており、確立されたコーティングシステムの包括的な性能は中国で主導的な地位にあります。
（2）表面が滑らかで緻密で、表面が滑らかで繊細で、大面積・低コストで優れた性能を発揮するダイヤモンド状膜や金属窒素（または炭素）化合物多層膜を作製できます。
（3）特殊な多層勾配中間遷移層とドーピング技術の使用により、内部応力が低減され、膜/基板の結合力が向上し、膜層（最大6mmの厚さ）の成長が促進されます。
（4）調製されたDLCフィルムは、硬度> 20GPa（最大37.25GPa）、調整可能な厚さ（最大6mmの厚さ）、フィルム/ベース結合力> 50N（最大100N）、摩擦係数<0.2、フィルムは滑らかで繊細です。
（5）開発されたマトリックス/ Cr / CrN / CrTiAlN / CrTiAlCN / CrTiC / DLC多層耐摩耗性および耐熱性自己潤滑コーティングは、優れた包括的な特性を備えています。硬度は最大28.7GPa、厚さは1〜4mm、フィルム/ベースの接着力は70Nより大きく、摩擦係数は0.2未満です。
（6）開発した耐摩耗性・減摩フィルムは、さまざまな高精度金型や精密キー部品に採用されています。塗布結果は、フィルム層の表面強化効果が顕著であり、製品の品質と耐用年数を大幅に改善できることを示しています。
マルチアークイオンプレーティングは、真空状態での蒸着の分野にさまざまなガス放電モードを導入します。蒸着プロセス全体は、プラズマプロセスで実行されます。金属製品の表面だけでなく、非金属製品の表面にもコーティングすることができます。金属膜、窒化チタン、炭化チタン、窒化ジルコニウム、窒化クロム、酸化チタン、その他の膜でメッキすることができます。
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