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の マグネトロンスパッタリング真空コーティング機 は多くのコンポーネントで構成されており、それぞれに独自の用途があり、不可欠です。マグネトロン スパッタリング真空コーティング マシンは、真空システム、従来のシステム、加熱システム、冷却システム、プロセス空気分配システム、およびマグネトロン スパッタリング システムで構成されます。
真空系：真空系装置は真空チャンバーエリアに集約され、排気装置（メカニカルポンプ、ルーツポンプ、分子ポンプ）、試験装置（抵抗計、電離真空計、メンブレンゲージ）、安全弁（キャビティゲートバルブ、分子ポンプ) フラッパー弁、ロータリーベーンポンプ ルーツポンプ自吸弁、パイプライン弁、空気遮断弁);ロータリーベーンポンプ＞ルーツポンプ＞分子ポンプリレー排気により、チャンバー内の圧力を大気圧から真空に変化させ、製造工程において製造に適した真空環境を維持します。
ロータリーベーン真空ポンプの動作原理、ロータリーベーンポンプは、ステーター、ローター、ロータリーベーン、固定カバー、スプリング、その他の部品で構成されています。その構造は、ネイルキャビティに取り付けられた偏心ローター（ローターの外円はステーターの内面に接し、2つの間のギャップは非常に小さい）と、ロータースロット内をスライドする2つのローターを使用し、バネの張力と遠心力でステーターの内壁に吸着します。回転子が回転すると、常に固定子の内壁に沿って滑ります。
熱電対真空計では、一定強度の電流が熱線として Pt ワイヤを通過します。熱平衡に達した後、電流によって提供される加熱電力は、空間熱放射、金属熱伝導、およびガス分子熱伝導によって失われる電力に等しくなります。したがって、熱線の温度は真空度によって規則的に変化します。
ピラニゲージは熱抵抗真空計と呼ばれ、その動作原理は熱電対真空計に似ています。熱電対ゲージと組み合わせて使用されることが多い高真空計は電離真空計と呼ばれ、高真空領域で最も一般的に使用される測定ツールです。
真空フィルム式真空計は、金属フィルムに依存してガス圧差の作用下で機械的変位を生成する一種の真空計であるため、絶対ガス圧測定に使用でき、測定結果はガスの種類とは関係ありません.
メンブレン真空計には、2 つの独立した真空チャンバーがあります。一方の真空チャンバー内の圧力が既知で、もう一方の真空チャンバー内の圧力が不明な場合、膜の変位は 2 つのチャンバー間の圧力差に比例します。比例、測定の精度を向上させるために、膜変位は、膜と別の金属電極間の静電容量の変化を測定することによって達成されます。
薄膜真空計は広い範囲で良好な直線性を持ち、その検出限界は約10-3paであり、薄膜変位の検出に相当するのはわずか1原子スケールです。
マグネトロン スパッタリング真空コーティング マシンの伝送システム: 従来のシステムには、合計 24 の駆動モーターがあり、各ローディングおよびアンローディング プラットフォームに 4 つ、プロセス エリアに 11、リターン セクションに 5 つです。伝送に加えて、残りの電極は一方向伝送です。
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新しく開発されたイオン アーク ソースのいくつかのセットは、アーク ソース スパッタリングの安定性と均一性を効果的に確保するために合理的に装備されています。
マルチチャンネルエアインテークシステムを採用し、ガスの流れを正確にコントロールして、さまざまな複合フィルムの要件を満たすことができます。
パルスバイアス技術と組み合わせることで、電気粒子エネルギーが大幅に向上し、優れた膜密着性と仕上がりが得られます。
機器は主に、ハードウェア製品、ガラス工芸品、バスルーム製品、時計、時計、ナイフ、金型、クリスタルガラス、ゴルフツール、ランプ、メガネフレーム、セラミックタイル、床タイルなどのセラミック工芸品に広く使用されています。
加工材料：ステンレス、銅、鉄、亜鉛合金、アルミ、ABS、ガラス、セラミックスなど
処理材料の表面状態：通常の電気めっきの明るい表面、ダムの表面（セミダム、フルダム）、プロセスの電気めっきのしわ、ブラシ、雨滴など。
メッキの色は、半透明、ゴールド、シルバー、ローズゴールド、ブラック、ダークブラック、グリーン、ブルー、パープル、レインボーなどです.
+86-574-62340101
