真空コーティング機の機械式ポンプは、バッキングポンプとも呼ばれます。メカニカルポンプは、最も広く使用されている低真空ポンプです。オイルを使用してシール効果を維持し、機械的な方法でポンプの吸引キャビティの容積を継続的に変更します。ポンプで送られる容器内のガスの量は、真空を得るために継続的に膨張します。メカニカルポンプには多くの種類があり、一般的に使用されるのはスプールバルブタイプ、ピストンレシプロタイプ、固定ベーンタイプ、ロータリーベーンタイプの4種類です。

真空コーティング機

真空コーティング機のメカニカルポンプの構成。機械式ポンプは乾燥した空気を除去するためによく使用されますが、酸素含有量の高いガス、爆発性および腐食性ガスを除去することはできず、機械式ポンプは一般に永久ガスを除去するために使用されます。 、しかしそれは水蒸気に良い効果がないので、それは水蒸気を取り除くことができません。ロータリーベーンポンプの主要部品は、ステーター、ローター、シュラプネルなどです。ローターはステーターの内側にありますが、2つの刻印された円のように、ステーターとは異なるマンドレルを備えています。榴散弾が固定子の内壁にしっかりと取り付けられていることが保証されます。

真空コーティング機のメカニカルポンプの2つの破片は交互に2つの役割を果たします。一方では、ガスは空気入口から吸い込まれ、他方では、吸い込まれたガスは圧縮され、ガスはポンプから排出されます。ポンプは、ローターが1回転するごとに2回の吸引と2回の吐出を完了します。ポンプが時計回りに連続的に回転すると、ロータリーベーンポンプは空気入口からガスを連続的に吸入し、排気ポートからガスを連続的に排出して、コンテナをポンプする目的を達成します。ポンプの極限真空度を向上させるために、ポンプのステーターをオイルに浸し、ギャップを埋めるのに十分な量のオイルを常にギャップと有害なスペースに保持し、オイルが潤滑の役割を果たします。一方では、そして他方では。一方では、ギャップや有害なスペースを密閉およびブロックする役割を果たし、ガス分子がさまざまなチャネルを介して低圧でスペースに逆流するのを防ぎます。

真空コーティング機の機械式ポンプが大気から作動し始めます。その主なパラメータは、機械式ポンプの設計と選択の重要な基礎となる極限真空とポンプ速度です。単段ポンプは、コンテナを大気から1.0 * 10-1PAの極限真空までポンプで送ることができ、2ステージの機械式ポンプは、コンテナを大気から6.7*10-2PA以上にポンプすることができます。

ポンプ速度とは、ロータリーベーンポンプが定格回転数で作動するときに単位時間あたりに排出できるガスの量を指し、次の式で計算できます。

Sth = 2nVs = 2nfsL

fsは吸入終了時の空洞の断面積を表し、Lは空洞の長さを表し、係数はローターが1回転あたり2つの排気プロセスを持っていることを表し、Vsはローターが水平にあるときを表します位置、吸入が終了し、空洞内のボリュームはこの時点で最大です。 、速度はnです。

真空コーティング機の機械式ポンプの排気効果は、モーターの速度とベルトの締め具合にも関係しています。モーターのベルトが比較的緩く、モーターの速度が非常に遅い場合、メカニカルポンプの排気効果も悪化するため、メンテナンス、検査、メカニカルポンプオイルのシール効果も頻繁に必要になります。頻繁に検査されます。オイルが少なすぎるとシール効果が得られず、ポンプから空気が漏れます。一般的に、オイルレベルはラインより0.5cm下です。