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私たちの日常生活では、多くの日用品がフィルムの層でコーティングされています コーティング機 、製品をより美しくするだけでなく、より実用的にします。しかし、それはフィルムの層でコーティングされているので、多くの人が疑問を抱くでしょう、フィルムは厚さを持たなければなりません、それでフィルムの厚さはどれくらいですか、そしてそれをどのように測定するのですか？
薄膜は基板上に堆積する必要があるため、基板なしでの薄膜堆積の問題はありません。基材の洗浄品質は、フィルムの品質に最も重要な影響を及ぼします。同時に、フィルムの製造ではフィルムの厚さを知る必要があります。フィルムの厚さなしでフィルム特性の測定について話すことは無意味です。したがって、膜厚の測定や基板の洗浄は、薄膜の製造に関わる重要な技術と言えます。一般に、いわゆる厚さは、2つの完全に平坦な平行平面間の距離を指します。この概念は幾何学的な概念です。理想的な膜厚とは、基板表面とフィルム表面の間の距離を指します。フィルムトポグラフィーの三次元測定では、フィルムの厚さに対して、他の二次元測定は無限大であると言えます。実際の表面は不均一で不連続であり、フィルムには細孔、不純物、格子欠陥、表面吸着分子が存在する可能性があるため、フィルムのすべての厚さを厳密に定義し、正確に測定する必要があります。とてもむずかしいです。膜厚の定義ビットは、アドレス測定の方法とアドレス測定の目的に応じて決定する必要があります。したがって、同じフィルムで異なる測定方法を使用すると、異なる結果、つまり異なる厚さが得られます。
薄膜油の測定における表面は、幾何学的な概念ではなく、表面の分子（原子）の集まりを指す埋もれた概念です。平均表面とは、表面原子のすべての点からこの表面までの距離の代数和がゼロに等しいことを意味し、平均表面は一種の概念です。
通常、基板の片側にある表面分子の集合の平均表面を基板表面と呼びます。基板と接触していないフィルム側の表面の平均的な表面は、フィルムの形状表面と呼ばれます。原子は、密度がバルク固体材料の密度とまったく同じになり、基板の表面に均一に分布するように再配置されます。このとき、平均的な表面はフィルムマスの等価表面と呼ばれます。測定されたフィルムの物理的性質によれば、それは測定された薄膜と同じ幅のバルク固体材料の薄膜の長さに相当し、このときの平均表面はフィルム物理的性質等価表面と呼ばれます。形状の膜厚は、直感的な形状に最も近い膜厚で、通常はµmです。マスフィルムの厚さは、フィルムに含まれる物質の量を反映し、通常はµg / cm＃8217;であり、実際の使用では物理的なフィルムの厚さがより実用的です。便利で比較的簡単に測定できます。
実際の表面は平坦ではなく、同時に、フィルムの厚さを定義および測定するためにどの方法を使用しても、フィルム製造プロセスにはさまざまな欠陥、不純物、および吸着分子が必然的に存在するため、これは平均値です。 、およびフィルムの厚さは、不純物、欠陥、および吸着分子を含むのに十分です。
真空コーティング機のコーティングは、真空チャンバーの下で行われます。フィルムの厚さを測定するには、この領域の専門の測定器が厚さを測定する必要があります。通常の状況では、真空コーティング機のメーカーは通常、このAデバイスを販売しています。
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